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《無塵車間設(shè)計(jì)規(guī)范》換氣次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)是多少？馬上告訴你！

ISO14644-4 對(duì)于無塵車間氣流速度、換氣次數(shù)是明確作為參考資料的，其論點(diǎn)可歸納為：

   1、無塵室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在其低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下， 流速0.05?O.lm/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴(kuò)散性能遠(yuǎn)低于對(duì)流性能； 而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再卷入。因此，無塵室的理想自 凈時(shí)間什=體積/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大氣流速度，實(shí)際的Tr并不再 有明顯的減少。

   2、末級(jí)過濾器的效率對(duì)無塵車間潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參 考值對(duì)末級(jí)過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、 99.99%、99.999%、99.9995%直至8個(gè)9以上都可選擇。其效率對(duì)氣流速度的影響除以 上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的無塵室內(nèi)含塵濃度穩(wěn) 定公式可以得出：

(1) 無塵車間室內(nèi)發(fā)塵量較高時(shí)，末級(jí)過濾器效率的變化對(duì)潔凈度影響甚微，因此在這種情況下， 過高的過濾效率是無必要的；

(2)  無塵車間室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下，采用低的氣流速度下，末級(jí)過濾器效率的變速器變化， 對(duì)潔凈度的影響增大。新風(fēng)進(jìn)末過濾器 前的含塵濃度 1.75x106 個(gè)/m3 室內(nèi)發(fā)生量:Gl = 350 個(gè)/m3.min G2=3500 l/m3.min G3=35000個(gè)/m3.min G4=350000個(gè)/m3.min新風(fēng)量對(duì)于全空氣量的比率0.03當(dāng)前有 的IC 工廠其ISO5級(jí)(0.3pm)的無塵室工程，采用FFU系統(tǒng)，帶ULPA(99.9995%,0.12|jm) 出口風(fēng)速為0.38m/s,其滿布率為25%,這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s,在各有關(guān)推 薦或參考值的下限下。此 無塵室工程的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)無塵室的人員亦較少，可以認(rèn)為無塵室內(nèi)發(fā)生較低，這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。據(jù)報(bào)道，目前 IEST 對(duì)無塵室內(nèi)氣 流速度推薦值的下限有所降低，如：＜ISO5級(jí)：氣流速度0.2~0.5m/s； ISO6級(jí)或5級(jí)(非 單向流)；換氣次數(shù)＞200次/h： ISO7級(jí)：換氣次數(shù)20?200次/h; ISO8級(jí)：換氣次數(shù)2? 20 次/h。

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