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潔凈室的潔凈度檢測方法

潔凈室的檢測根據(jù)被檢測面積規(guī)定的采樣點數(shù)參考下表1

l 檢測位置定義為距離地面800mm~1200mm高度；

l 參考標準：ISO14644（美國聯(lián)邦標準209E）或按設計要求。潔凈等級具體可分1級、10級、100級、1000級、10000級和100000級；

l 微粒允許值：

l 計量容積單位：ft3

檢測儀器：CEMDF-9881粒子計數(shù)器。

潔凈度檢測也可以通過有規(guī)律掃描檢測的方式來獲取數(shù)據(jù)，如遇到數(shù)據(jù)波動異常的點，再通過定點詳細檢測的方法來獲取數(shù)據(jù)。

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http://acleanroom.com/index.php/assemblycleanroom.html

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