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潔凈室的潔凈度檢測方法

Release Time:2021.07.06 Read:908

潔凈室的潔凈度檢測方法


潔凈室的檢測根據(jù)被檢測面積規(guī)定的采樣點數(shù)參考下表1

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l 檢測位置定義為距離地面800mm~1200mm高度;

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l 參考標準:ISO14644(美國聯(lián)邦標準209E)或按設計要求。潔凈等級具體可分1級、10級、100級、1000級、10000級和100000級;

l 微粒允許值:

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l 計量容積單位:ft3



檢測儀器:CEMDF-9881粒子計數(shù)器。

潔凈度檢測也可以通過有規(guī)律掃描檢測的方式來獲取數(shù)據(jù),如遇到數(shù)據(jù)波動異常的點,再通過定點詳細檢測的方法來獲取數(shù)據(jù)。


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http://acleanroom.com/index.php/assemblycleanroom.html

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