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組裝式潔凈室在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

Release Time:2020.09.15 Read:843

5月15日,美國(guó)商務(wù)部發(fā)表了《商務(wù)部針對(duì)華為削弱實(shí)體清單的努力,限制使用美國(guó)技術(shù)設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的產(chǎn)品》的文章,正面針對(duì)華為公司出臺(tái)出口管制,全球半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)若為華為生產(chǎn)芯片,均需要獲得美國(guó)許可。

 

此規(guī)定對(duì)華為以及為華為生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的制造商來(lái)說(shuō)都是巨大打擊,華為公司也針對(duì)此次管制發(fā)布聲明,強(qiáng)烈反對(duì)美國(guó)商務(wù)部這種僅針對(duì)華為的直接產(chǎn)品規(guī)則修改。中國(guó)商務(wù)部也表示將采取一切必要措施,堅(jiān)決維護(hù)中國(guó)企業(yè)的合法權(quán)益。

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近些年,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速,很多晶圓代工廠拔地而起,但作為廠商對(duì)美國(guó)應(yīng)用材料和設(shè)計(jì)、技術(shù)的依賴性很強(qiáng)。潔凈室作為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)的所需場(chǎng)所,受半導(dǎo)體晶圓代工廠的興建熱潮的催動(dòng),在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用、市場(chǎng)占比也隨之增加。此次美國(guó)針對(duì)華為的管制致使臺(tái)積電等企業(yè)對(duì)華為訂單無(wú)能為力,也有可能從側(cè)面刺激中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的自強(qiáng)發(fā)展,中芯國(guó)際、海思等中資半導(dǎo)體行業(yè)翹楚紛紛加大了技術(shù)研發(fā)的占比,盡管道路坎坷,但以華為為代表的中國(guó)企業(yè)、中國(guó)半導(dǎo)體以及與半導(dǎo)體生產(chǎn)息息相關(guān)的潔凈室行業(yè)還是滿懷希望,畢竟只有勝利才是出路。

 

說(shuō)回到半導(dǎo)體與潔凈室之間的關(guān)系,為什么半導(dǎo)體、芯片生產(chǎn)須在潔凈室內(nèi)生產(chǎn)呢?由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的積體電路元件尺寸越來(lái)越小,眾多元件集中在一塊小小的晶片之上,因此在生產(chǎn)過(guò)程中須要阻斷外界各種污染源,因?yàn)檫@些雜質(zhì)、污染源會(huì)造成元件性能的劣化及可靠度降低,導(dǎo)致芯片良率下降,所以在半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程中須要在一個(gè)潔凈度管控的環(huán)境之中。

 

德信致遠(yuǎn)組裝式潔凈室


那么,潔凈室是如何隔斷污染源,確保半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)境是潔凈的呢?下面我們因組裝式潔凈室為例為您具體介紹分析。

 

半導(dǎo)體在生產(chǎn)過(guò)程中大的污染源就是從潔凈室外部進(jìn)入潔凈室內(nèi)的人流與物流污染,所以組裝式潔凈室在進(jìn)口處配備了風(fēng)淋室。風(fēng)淋室的作用是去除人員及貨物上的塵埃顆粒、毛屑等污染源,組裝式潔凈室內(nèi)部安裝了FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組,進(jìn)行潔凈新風(fēng)的輸送。這兩大硬件凈化設(shè)備一為組裝式潔凈室阻絕了污染源,二為組裝式潔凈室提供了潔凈空氣,可以說(shuō)是組裝式潔凈室的主要構(gòu)成。


在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)規(guī)程中、機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn),人員的走動(dòng)也會(huì)產(chǎn)生或帶動(dòng)污染物的流轉(zhuǎn),組裝式潔凈室還要設(shè)計(jì)一定的氣流組織確保被污染的空氣不會(huì)向潔凈區(qū)流轉(zhuǎn)。組裝式潔凈室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組布置在頂棚,空氣斷面上的流速比較均勻,而使氣流流向單向平行,靠推出的作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至架空地板或側(cè)墻下部設(shè)的回風(fēng)口再回至循環(huán)風(fēng)機(jī),這種上送下回或上送下側(cè)回的氣流流型可以使污染空氣快速排出室外而不會(huì)交叉污染到組裝式潔凈室內(nèi)其它工作區(qū)域。

 

另外,組裝式潔凈室的智能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)與傳統(tǒng)潔凈室相比在潔凈度維護(hù)上面更為簡(jiǎn)便智能。組裝式潔凈室內(nèi)安裝的傳感器將檢測(cè)數(shù)值直接以數(shù)字形式顯示在智能控制屏上,智能系統(tǒng)控制會(huì)判斷塵埃顆粒及溫濕度是否在標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi),超出則會(huì)控制FFU、空調(diào)等設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),使之恢復(fù)到規(guī)定范圍之內(nèi)。

經(jīng)過(guò)以上介紹,相信你已經(jīng)對(duì)組裝式潔凈室與半導(dǎo)體行業(yè)的相互關(guān)系有了一定的了解。中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)目前正在遭受沖擊,這也從側(cè)面反映了技術(shù)與設(shè)計(jì)的重要性,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)還有很長(zhǎng)的路要走。組裝式潔凈室與半導(dǎo)體息息相關(guān),榮辱與共,未來(lái)也將攜手為伍,一起突破前路上的艱難險(xiǎn)阻,臨難不避,贏得未來(lái)!

 

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